我想知道,如果在芯片制造中受限于在焦点不那么清晰的边缘使用较少密度的图案,是否可以扩展光栅限制。或者如果焦点质量是径向的,是否可以在圆形芯片上比传统的方形芯片多图案化一些电路。产量反对更大的芯片,但可能仍然存在一些边缘案例,使得巨型芯片比小芯片更具吸引力。
66.53K