我想知道,如果在晶片製造中受限於在焦點不那麼清晰的邊緣使用較少密度的圖案,是否可以擴展光柵限制。或者如果焦點質量是徑向的,是否可以在圓形晶片上比傳統的方形晶片多圖案化一些電路。產量反對更大的晶片,但可能仍然存在一些邊緣案例,使得巨型晶片比小晶片更具吸引力。