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Le Département de l'Énergie des États-Unis a développé et conserve la propriété exclusive de la technologie de lithographie ultraviolette extrême utilisée par ASML.
ASML a reçu une licence du Congrès pour fabriquer des machines EUVL. Le seul fournisseur mondial de sources UV extrêmes, Cymer, est également une société américaine.
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