Il Dipartimento dell'Energia degli Stati Uniti ha sviluppato e detiene la proprietà esclusiva della tecnologia di litografia ultravioletta estrema utilizzata da ASML. ASML ha ricevuto una licenza dal Congresso per produrre macchine EUVL. L'unico fornitore globale di sorgenti UV estreme, Cymer, è anche una società statunitense.