Departament Energii USA opracował i zachowuje wyłączne prawo własności do technologii litografii ekstremalnej ultrafioletowej używanej przez ASML. ASML otrzymał licencję od Kongresu na produkcję maszyn EUVL. Jedynym globalnym dostawcą źródeł ekstremalnego UV, Cymer, jest również amerykańską korporacją.